壓阻式壓力感測器及其封裝方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

094117852

專利證號

258868

專利獲證名稱

壓阻式壓力感測器及其封裝方法

專利所屬機關 (申請機關)

淡江大學學校財團法人淡江大學

獲證日期

2006/07/21

技術說明

本發明係有關於一種壓阻式壓力感測器（ piezo-resistive pressure sensor ）以及應用於壓阻式壓力感測器之新型晶片等級封裝 方式（ wafer level package ）。本發明主要 是利用高分子矽膠材料 「聚二甲基矽氧烷」 ( polydimethylsiloxane, PDMS) ，取代 Pyrex 7740 ，作為壓力感測器壓力薄膜下方空腔結構 ( pressure cavity) 的密封材。本發明利用 聚二甲基矽氧烷 的成本低廉、製程快速與低溫 製程之特性，具有降低壓力計製造成本、縮短封裝時間、提高感測器性 能等優點。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

研究發展處

連絡電話

26215656分機2561

網址