非破壞方法逆解光纖探針口徑及對近場光學微影加工外形模擬預測之方法NON-DESTRUCTIVE METHOD FOR INVERSE-CALCULATING FIBER PROBE APERTURE SIZE AND PREDICTION METHOD OF FABRICATION PROFILE OF NEAR FIELD PHOTOLITHOGRAPHY

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

11/749,562

專利證號

US 7,716,026 B2

專利獲證名稱

非破壞方法逆解光纖探針口徑及對近場光學微影加工外形模擬預測之方法NON-DESTRUCTIVE METHOD FOR INVERSE-CALCULATING FIBER PROBE APERTURE SIZE AND PREDICTION METHOD OF FABRICATION PROFILE OF NEAR FIELD PHOTOLITHOGRAPHY

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺灣科技大學

獲證日期

2010/05/11

技術說明

非破壞方法逆解光纖探針口徑及對近場光學微影加工外形模擬預測之方法

備註

本部(收文號1100059448)同意該校110年9月28日臺科大研字第1100107053號函申請終止維護專利(臺科大)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

技術移轉中心

連絡電話

02-2733-3141#7346

網址