微環狀結構製法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

094105424

專利證號

I 270525

專利獲證名稱

微環狀結構製法

專利所屬機關 (申請機關)

國立中興大學

獲證日期

2007/01/11

技術說明

本發明專利在於表述因光穿透微透鏡後之散射效果，形成微環狀結構陣列之製法，在製程中，先以光阻熱熔（Reflow of Photoresist）法做出所需之微透鏡光罩，以超過光阻之玻璃轉換溫度之高溫加熱，溫度會依光阻材料而有所不同， 約100-300℃，由於光阻材料內分子增加動能，以及受到表面張力之作用，使得光阻表面能量趨近於最小，而形成近似 球面的形狀。藉由特殊微透鏡光罩之形成，再將此微透鏡光罩對正光阻做微影，即可得到所需之微環狀結構陣列，最 後，以電鑄法做出模具，以便日後微結構可被大量複製而達到量產的效用。

備註

本部(收文號1040089468)同意該校104年12月17日興產字1044300671號函申請終止維護專利

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