藉由電場輔助質子交換之鈮酸鋰濕式蝕刻法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

091112427

專利證號

I241650

專利獲證名稱

藉由電場輔助質子交換之鈮酸鋰濕式蝕刻法

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺北科技大學

獲證日期

2005/10/11

技術說明

本發明為一種應用外加電場控制濕式蝕刻區域輪廓方法，利用電場輔助值 子交 換，結合氫氟酸與硝酸混合液蝕刻鈮酸鋰區域反轉區域的特性，來達成控 制蝕 刻 鈮酸鋰區域輪廓的目的。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

專利技轉組

連絡電話

02-87720360

網址