發明
中華民國
110105121
I 760107
高熵合金及其於探針之應用High-entropy alloy and probe application thereof
國立成功大學
2022/04/01
提供一種高熵合金於探針之應用及其元素組合之挑選方法,其係利用焓限篩選固溶相之高熵合金。上述之高熵合金係至少由四種元素組成。因高熵合金具有低電阻、高韌性與高硬度特性,得以克服測試探針在測試過程中因磨損、沾黏、鍍層剝落造成的壽命降低及電接觸變差的問題;也能降低原子力顯微鏡用探針以及其他檢測用探針(如四點探針等)在掃描過程中的磨耗問題。
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