微型光學讀取頭模組與其製造方法及其接物透鏡之製造方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

092113762

專利證號

I 225246

專利獲證名稱

微型光學讀取頭模組與其製造方法及其接物透鏡之製造方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立清華大學

獲證日期

2004/12/11

技術說明

本發明揭示一種微型光學讀取頭 (pickup head)模組與其製造方法及其 接物透鏡(objective lens)之製造方 法，其係在一透明之基板(substrate) 上形成至少兩個FRESNEL面鏡(FRESNEL zone plate)，再採用厚膜光阻以特殊 斜曝製程(inclined exposure process)而形成與基板相互成銳夾角之 一組平面鏡，該組平面鏡之位置分別位 於該組FRESNEL面鏡的上方。在該組平 面鏡之銳夾角外側之平面分別沈積金屬 層，其中一金屬層可使一平面鏡成為反 射鏡，另一金屬層可使另一平面鏡成為 可半穿透且半反射之分光鏡。在一 FRESNEL面鏡相對於該基板之另一表面 設置一雷射頭，而另一FRESNEL面鏡相 對於該基板之另一表面設置一光感測 器。

備註

本部(收文號1050027638)同意該校105年4月21日清智財字第1059002057號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

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