以凝膠溶膠法製造氣體感測器之方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

094127781

專利證號

I 280229

專利獲證名稱

以凝膠溶膠法製造氣體感測器之方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立中興大學

獲證日期

2007/05/01

技術說明

利用CMOS製程製作MEMS結構，並整合積體電路，不僅節省製作晶片成本，亦達到整合目的，另外凝膠溶膠脂方式亦可使 製作氣體反應薄膜之成本降低。

備註

本部(收文號1040089468)同意該校104年12月17日興產字1044300671號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

技術授權中心

連絡電話

04-22851811

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