絕緣層上矽晶光學波導麥克森干涉式溫度感測器

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

09/973,686

專利證號

US6,603,559 B2

專利獲證名稱

絕緣層上矽晶光學波導麥克森干涉式溫度感測器

專利所屬機關 (申請機關)

元智大學

獲證日期

2003/08/05

技術說明

本發明之特點在於藉由使用絕緣層上矽晶(SOI)晶片使積體電路與積體光學感測元件作一更 緊 密的結合，並可藉由SOI光學波導麥克森干涉式溫度感測器之設計，縮小光學感測器之持尺 寸，提高溫度感測之精確度，達到溫度感測元件特性改進之效能。 A high accurate SOI optical waveguide Michelson interferometer sensor for temperature monitoring combines a waveguide coupler , waveguide, or splitter with two silicon-on-insulator Bragg gratings.

備註

92學年度-發證日920805

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學合作組

連絡電話

(03)4638800#2286

網址