發明
美國
12/291,396
US 7,977,687 B2
發光二極體結構及其製造方法LIGHT EMITTER DEVICE
國立交通大學
2011/07/12
本發明係提供一種發光二極體(LED)結構,該發光二極體係包含一四族半導體構成之基板,一AlN成核層,形成於該四族基板上,一GaN磊晶層,形成於該AlN成核層上,一分散式布拉格反射鏡(DBR)多層結構,形成於該圖型化之GaN磊晶層上,以及一LED作用層結構,形成於該 DBR多層結構上。 根據上述構想,其中該LED結構更包含一GaN緩衝層,形成於該DBR多層結構與該LED作用層結構之間。 根據上述構想,其中該DBR多層結構係為一三族氮化物分散式布拉格反射鏡(DBR)多層結構。 根據上述構想,其中該GaN磊晶層係為一圖型化(patterned)之磊晶層。 根據上述構想,其中該DBR多層結構係為一圖型化(patterned)之多層結構。 A light emitting device (LED) structure is provided. The LED structure includes a Group IV-based substrate, an AlN nucleation layer formed on the Group IV-based substrate, a GaN epitaxial layer formed on the AlN nucleation layer, a distributed Bragg reflector (DBR) multi-layer structure is formed on the pattern-GaN epitaxial layer, and an LED active layer is formed on the DBR multi-layer structure.
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