懸臂樑感測晶片、懸臂樑感測系統及其方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

101104068

專利證號

I 460412

專利獲證名稱

懸臂樑感測晶片、懸臂樑感測系統及其方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺灣大學

獲證日期

2014/11/11

技術說明

本發明揭露一種懸臂樑感測晶片，其包括一主體、多組接點對及多個第一懸臂樑。主體具有多個外表面、一待測物入口和一待測物出口。待測物入口和待測物出口係位在至少一外表面上。主體的內部具有一檢測腔，並且檢測腔連通待測物入口和待測物出口。接點對彼此絕緣地配置在此些外表面中之一上。第一懸臂樑懸空且彼此分離地設置在檢測腔的側壁上，並且各別電性連接至此些接點對中之一對。 本發明另揭露一種懸臂樑感測系統，其包括懸臂樑感測晶片及一量測裝置。量測裝置電性耦接至懸臂樑感測晶片的各組接點對，並用以量測各個第一懸臂樑的電訊號。 本發明又揭露一種懸臂樑感測方法，其包括：通入一檢體至懸臂樑感測晶片的檢測腔中、利用一量測裝置量測各第一懸臂樑的電訊號、基於一閥值從量測到之第一懸臂樑的電訊號中篩選出至少一有效值、以及計算篩選出的有效值的平均值。其中，懸臂樑感測晶片的檢測腔的側壁上懸空且彼此分離地設置有多個第一懸臂樑，並且量測裝置各別電性連接至各個第一懸臂樑。 綜上所述，根據本發明之懸臂樑感測晶片、懸臂樑感測系統及其方法，是直接由懸臂樑各自的接點對擷取每一個懸臂樑各自的電訊號，並且透過疊加有效之電訊號來提升訊號強度，以助於後續訊號的判讀、分析與轉換等處理作業。 A microcantilever-array sensor, microcantilever-Array sensing System and method therefor is related to the microcantilever-array sensor including a body, contact pairs and first microcantilevers. The water inlet is arranged in one of outside surfaces of the body and communicates with the sensing cavity inside the body. The water outlet is arranged in one of the outside surfaces of the body and communicates with the sensing cavity. The contact pairs are insulatingly disposed in one of outside surfaces. The first microcantilevers are separately and overhanging arranged on side wall(s) of the sensing cavity, and each first microcantilever is electrically connected to individual contact pair.

備註

本部(收文號1100057959)同意該校110年9月16日校研發字第1100067275號函申請終止維護專利(台大)

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