二維材料及其製造方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

107145276

專利證號

I 684661

專利獲證名稱

二維材料及其製造方法

專利所屬機關 (申請機關)

財團法人國家實驗研究院

獲證日期

2020/02/11

技術說明

一種二維材料之製造方法，包含以下步驟：於一基板進行一鍍膜製程形成一過渡金屬前驅物之一薄膜；以離子拋光(ion milling)對該薄膜進行一減薄製程；以及，以化學氣相沉積法進行該減薄薄膜與硫族化物之反應，形成具有過渡金屬二硫屬化物(Transition metal dichalcogenides,TMDs)之薄膜材料。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

國研院技術移轉中心

連絡電話

02-66300686

網址