Digital roller mold manufacturing system

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

14/964,276

專利證號

US 10,036,854 B2

專利獲證名稱

Digital roller mold manufacturing system

專利所屬機關 (申請機關)

國立成功大學

獲證日期

2018/07/31

技術說明

本項技術應用現有之「數位光學投影」(Digital Light Processing, DLP)技術與「數位鏡片陣列」(Digital Mirror Device, DMD)晶片，以UV光作為光源，便投射出數位式的UV光學影像；之後，使用一2D光纖陣列，並於光纖陣列表面置放或製作一2D的非球面透鏡陣列，經由透鏡的聚光能力，將DMD投射的UV光能量個別地導引至每一根光纖之中。此一2D光纖陣列中的光纖可以轉接到一個1D的光纖陣列，並在1D光纖陣列中每一根光纖的出口處，同樣的置放或製作一個聚光的非球面透鏡，將離開光纖的UV光再次聚集成一個微小的UV光點；所形成之1D直線型UV光點陣列可以投射於一塗佈於滾筒表面的光阻層，即可進行光束筆陣列直寫式(Beam Pen Array Direct Writing)的微影製程；其中，滾筒將處於連續轉動的狀態，而1D光纖與UV光點陣列則可以沿著滾筒軸線方向水平移動，最後配合DMD光學系統的開、關動作(ON與OFF)，在滾筒表面的每一個位置點，決定每一根光纖的光源供給與否，以完成光阻層的UV圖型定義(UV Patterning)；經果顯影，即可在滾筒表面完成複雜與任意圖形的光阻微結構層，最後以蝕刻或電鑄的方式，完成無縫滾筒模仁的製作。 This digital roller mold fabrication system starts with a digital light projecting (DLP) system which consists of a UV-light source, a digital mirror device (DMD), and an imaging lens. To produce arbitrarily a digital image based on the UV light and project this UV digital image on a plane. A 2D aspheric microlens array is deployed on a 2D fiber array. The UV light projected by a group of digital mirrors can be focused by the microlens and then fed into the corresponding fiber. Fibers are formed into a 1D linear array and are equipped with a corresponding 1D aspheric microlens array, which can focus the UV light coming out form the fibers into small spot size. By controlling the DMD mirrors and synchronizing with the rotational movement of roller and linear movement of the 1D YV spots, achieving fine resolution and complex pattern design directly on the roller. A layer of PR microstructures is formed. By subsequent metal etching or electroforming, a roller mold is then accomplished.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

企業關係與技轉中心

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06-2360524

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