發明
中華民國
109119727
I 749585
光源生成裝置、光源生成方法以及相關的檢測系統
國立清華大學
2021/12/11
此系統專利描述一極紫外光光源生成裝置與其檢測裝置。搭配高重覆率飛秒脈衝雷射源、連續光譜產生裝置以及波長轉換單元來最佳化高階諧波產生在特定極紫外光光波長的雷射光通量。產生的高強度極紫外光雷射透過實施無需成像系統的同調繞射成像系統可突破以往亮度不足的缺點,而作為半導體檢測使用。
智財技轉組
03-5715131-62219
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