奈米壓印模具之硬度加強裝置及其方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

097117920

專利證號

I 383266

專利獲證名稱

奈米壓印模具之硬度加強裝置及其方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立中正大學

獲證日期

2013/01/21

技術說明

奈米壓印技術便具有較高的方便性及簡易性，只要製作一個壓印模具，快速且多次印刷或圖案轉移即可達成，且材料的浪費亦可降低，除此之外，壓印技術亦可運用在大面積的圖案製備過程上，可大幅降低生產成本、提高產品生產力。然而，奈米壓印技術在模具材料的選擇上，亦具有一些問題存在，選擇硬度較高之材料做為模具，會使得成本攀高，若選擇硬度較低之材料，卻又不敷使用。 本發明係揭露一種奈米壓印模具之硬度加強系統，其包含一母模、一公模、一奈米壓痕裝置及一基板。公模係由一第一材料組成，用以壓印一母模，在母模上產生一奈米結構圖案，此母模係以一第二材料組成，其中第一材料之硬度高於第二材料，奈米壓痕裝置係使用一奈米壓痕技術予母模，以增強第二材料之硬度，最後，母模再將奈米結構圖案壓印至基板上。 A hardness enhancing system for use in a nanoimprint mold Includes a female mold, a male mold, a nano-indentation apparatus and a substrate. The male mold is composed of a first material and is used to imprint a female mold so as to produce a nano structural pattern on the female mold. The female mold is composed of a second material. The hardness of the first material is higher than the second material. The nano-indentation apparatus uses a nano-indentation technique to the female mold in order to enhance the hardness of the second material. Lastly, the female mold imprints the nano structural pattern on the substrate.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

技術移轉授權中心

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