奈米壓印模具之硬度加強方法METHOD FOR ENHANCING HARDNESS OF NANOIMPRINT MOLD

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

13/279,882

專利證號

US 8,647,552 B2

專利獲證名稱

奈米壓印模具之硬度加強方法METHOD FOR ENHANCING HARDNESS OF NANOIMPRINT MOLD

專利所屬機關 (申請機關)

國立中正大學

獲證日期

2014/02/11

技術說明

奈米壓印技術便具有較高的方便性及簡易性，只要製作一個壓印模具，快速且多次印刷或圖案轉移即可達成，且材料的浪費亦可降低，除此之外，壓印技術亦可運用在大面積的圖案製備過程上，可大幅降低生產成本、提高產品生產力。然而，奈米壓印技術在模具材料的選擇上，亦具有一些問題存在，選擇硬度較高之材料做為模具，會使得成本攀高，若選擇硬度較低之材料，卻又不敷使用。 本發明係揭露一種奈米壓印模具之硬度加強系統，其包含一母模、一公模、一奈米壓痕裝置及一基板。公模係由一第一材料組成，用以壓印一母模，在母模上產生一奈米結構圖案，此母模係以一第二材料組成，其中第一材料之硬度高於第二材料，奈米壓痕裝置係使用一奈米壓痕技術予母模，以增強第二材料之硬度，最後，母模再將奈米結構圖案壓印至基板上。 A hardness enhancing system for use in a nanoimprint mold Includes a female mold, a male mold, a nano-indentation apparatus and a substrate. The male mold is composed of a first material and is used to imprint a female mold so as to produce a nano structural pattern on the female mold. The female mold is composed of a second material. The hardness of the first material is higher than the second material. The nano-indentation apparatus uses a nano-indentation technique to the female mold in order to enhance the hardness of the second material. Lastly, the female mold imprints the nano structural pattern on the substrate.

備註

本部(收文號1100053298)同意該校110年8月20日中正研發字第1100910479號函申請終止維護專利(中正)

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