改良的薄膜濺鍍製程

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

089109609

專利證號

I 202928

專利獲證名稱

改良的薄膜濺鍍製程

專利所屬機關 (申請機關)

財團法人國家實驗研究院

獲證日期

2004/06/01

技術說明

改良的薄膜濺鍍製程

備註

1.發明人:江政忠 ;李正中 ;劉旻忠 ;龔裕盛 ;陳至信 2.儀器科技發展計畫（2000年的公務預算） 本部(收文號1050070266)同意該院105年8月23日國研業字第1050102309號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

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連絡電話

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