發明
中華民國
097121936
I 376568
滾筒模仁之製造方法METHOD FOR MANUFACTURING ROLLER MOLD
國立成功大學
2012/11/11
一種滾筒模仁之製造方法,至少包括:提供主體結構,主體結構呈圓柱狀;形成光阻層完全覆蓋在主體結構之弧面上;提供模仁具有圖案結構至少包括一突出部與一凹陷部,且突出部與凹陷部上依序覆蓋有抗沾黏膜層及結構圖案層;將模仁壓合在光阻層上;滾動主體結構,以將突出部上之結構圖案層轉移至光阻層上;移除模仁;對光阻層之暴露部分進行曝光步驟以將結構圖案層之圖案轉移至光阻層;移除光阻層之暴露部分以暴露出主體結構之弧面之一部分;形成一結構層於弧面之部分與結構圖案層上;及移除光阻層及光阻層上之結構層與結構圖案層。
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