發明
中華民國
106115525
I 640001
感應式自旋軌道力矩元件及其製造方法
財團法人國家實驗研究院
2018/11/01
發明係一種感應式自旋軌道力矩元件及其製造方法,其包含以化學氣相沉積一二維薄膜,以及以濺鍍形成一鐵磁材料層於薄膜上,其中二維薄膜之晶體結構具有至少一晶面成非對稱排列,並且二維薄膜之厚度為至少一單位晶胞層,且該至少一單位晶胞層之總和為奇數,藉由二維薄膜產生之垂直磁矩以及厚度的微縮,以減少元件尺寸以及製程成本。
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