含有固態薄片組的雷射光源裝置及量測系統

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

109126109

專利證號

I 738448

專利獲證名稱

含有固態薄片組的雷射光源裝置及量測系統

專利所屬機關 (申請機關)

國立清華大學

獲證日期

2021/09/01

技術說明

利用多個固態薄片將輸入雷射脈衝展頻壓縮，同時提供具超高時間解析度、高速取樣功能之光譜學檢測系統所需要的泵浦、探測兩道脈衝光。新系統已被驗證用於分析新穎半導體動態響應。 The pump and probe pulses of a spectrocopic diagnostic system with ultrahigh time resolution and fast data acquisition capcity are provided by spectral broadening and temporal compression of an input laser pulse via multiple thin solid plates. The new system has been applied to ultrafast dynamic analysis of advanced semiconductor materials.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

03-5715131-62219

網址