規則排列奈米點陣列的製作方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

092119924

專利證號

I220539

專利獲證名稱

規則排列奈米點陣列的製作方法

專利所屬機關 (申請機關)

財團法人國家實驗研究院

獲證日期

2004/08/21

技術說明

本發明提供一種電性掃描探針顯微鏡裝置。上述顯微鏡裝置包括一原子力顯微鏡裝置，利用 長波長雷射光源做為表面成像架構以取得一表面形貌影像，以及一電性掃描偵測感測裝置， 以取得同步對應表面形貌影像之二維電性影像。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

國研院技術移轉中心

連絡電話

02-66300686

網址