發明
中華民國
101123053
I 489765
複合式壓電致動器
中原大學
2015/06/21
一種新型的楔子型馬達可提供高速之線性或旋轉運動且具有奈米級解析度,廣泛應用於光電、半導體、精密機械、生醫等產業之輸送物件之精密定位平台系統及檢測系統。此複合式壓電陶瓷材料振動子具有d33功能及d15功能,可分別產生縱向及斜橫向形變運動。振動子之型態有矩型與環型元件,經一體式分區極化複合並配合適當之機構設計及控制方式,可組合為欲達成之運動方式,即可配合輔助機構分別設計製作線性及旋轉馬達。另可方便將數個此型壓電致動元件予以疊加獲得更高速度或力輸出。 A wedge-type piezoelectric motor that can generate high-speed linear or rotary motion and preserve nanoscale resolution is developed for the positioning system of material handling or inspection application in miscellaneous industries like semiconductor, optics, biomedical engineering, and precision machine, etc. Such a new type of composite piezoelectric ceramic material is constructed with d33 contributing the longitudinal deformation and d15 contributing the transverse deformation. Instead of using two individual ceramics to obtain the desired hybrid motion profile, this new approach has the advantage of a sole square or ring type ceramic with appropriate poling method can achieve the purpose.
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