場效發射特性優異之以碳為主的複合材料之製作方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

100122225

專利證號

I 447254

專利獲證名稱

場效發射特性優異之以碳為主的複合材料之製作方法

專利所屬機關 (申請機關)

淡江大學學校財團法人淡江大學

獲證日期

2014/08/01

技術說明

一種場效發射特性優異之以碳為主的複合材料之製作方法，包含：(a)於一基材上形成一具有一非晶碳基質及分散於非晶碳基質的超奈米晶鑽石晶粒之第一層；及(b)於第一層上形成一第二層以共同構成以碳為主的複合材料；第二層是處於一含有混合電漿的沉積系統中實施，混合電漿持續於第一層上進行第一層反應並同時進行第二層反應，第二層反應是同時使部分相鄰近的超奈米晶鑽石晶粒聚集成微米晶鑽石晶粒、使微米晶鑽石晶粒與剩餘超奈米晶鑽石晶粒間的非晶碳基質轉變成一石墨相，及使微米晶鑽石晶粒與剩餘超奈米晶鑽石晶粒的部分晶界轉變成石墨相。 These invention is about the synthesis of a electron field emission composite materials and its devices, including (a) forming a ultra-nanocrystalline diamond layer on the substrate; (b) foring a second layer so as to result in a composite materials. The second layer was deposited by a hybride plasma MPECVD process. The hybride MPECVD process grow first diamond layer as well as the second diamond layer. The said second MPECVD MPECVD process induced the coalescence of the ultra-small diamond grains and , in the same time, induced the formation of graphite phase.

備註

本部(發文號1100066368)同意貴校110年8月11日校研字第1100006615號函申請終止維護專利。(淡江)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

研究發展處

連絡電話

26215656分機2561

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