對神經細胞進行刺激及量測的軟性神經探針結構及其製造方法FLEXIBLE PROBR STRUCTURE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

098137886

專利證號

I 382007

專利獲證名稱

對神經細胞進行刺激及量測的軟性神經探針結構及其製造方法FLEXIBLE PROBR STRUCTURE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME

專利所屬機關 (申請機關)

國立清華大學

獲證日期

2013/01/11

技術說明

本發明提供一種軟性探針結構，其包含至少一個以奈米碳管為電極介面之電極，且位於電極表面之奈米碳管層經過一紫外光臭氧處理，使奈米碳管的表面帶有大量的碳氧官能基團，藉以大幅降低上述電極與生物組織液介面的阻抗，而獲致較佳之量測品質；本發明並提出上述軟性探針結構的製造方法，其步驟包含：備置一軟性基板；形成一導電層於該軟性基板上，並分別於該導電層定義一電極、一導線以及一金屬銲墊；形成一奈米碳管層於該電極上；形成一絕緣層於該導電層上，致使該導線與外界絕緣；將該奈米碳管層進行紫外光臭氧處理。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

03-5715131-62219

網址