以光纖作為空間濾波器與擴束器之雷射干涉微影設備LASER INTERFERENCE LITHOGRAPHY APPARATUS USING FIBER AS SPATIAL FILTER AND BEAM EXPANDER

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

13/800,072

專利證號

US 9,025,133 B2

專利獲證名稱

以光纖作為空間濾波器與擴束器之雷射干涉微影設備LASER INTERFERENCE LITHOGRAPHY APPARATUS USING FIBER AS SPATIAL FILTER AND BEAM EXPANDER

專利所屬機關 (申請機關)

國立清華大學

獲證日期

2015/05/05

技術說明

本實驗室發展的這個技術，未來不但能應用在顯示器關鍵元件的開發上，在太陽能、LED 、微機電，以及生醫領域也有具有影響力。在學術上，各實驗室極需更小線寬而且可靠的實驗室級曝光設備，本實驗室開發的平台很可成為重要的技術之ㄧ，特別是在微光學元件(Micro Optics)以及微光子晶體(Micro Photonics)的研究上。中長期，我們希望朝向發展低價小型的曝光機系統，提供精準快速生產小線寬的曝光設備，相關技術亦能輔助或整合至檢測儀器，達成快速檢測、精確定量之目的。 The technology used a ultraviolet single-mode fiber (SMF) for beam transport, spatial filtering, and beam expansion for a Lloyd’s Mirror interferometer for laser interference lithography. Polarized laser light at 325 nm from a HeCd laser was coupled to a non-polarization-maintaining step-index fiber, which preserved the linear polarization with an extinction ratio exceeding 100:1. The linear polarization direction of the output beam was remotely adjusted by a half-wave plate in front of the laser. The output beam profile matched the predicted far-field distribution of the single LP01 mode step-index fiber, with an NA of 0.09 at 325 nm. By illuminating a Lloyd’s Mirror interferometer with the beam produced by a single fiber, line/space photoresist patterns with a pitch of 220 nm were demonstrated.

備註

本部(收文號1090028140)同意該校109年5月15日清智財字第1099003570號函申請終止維護專利(清大)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

03-5715131-62219

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