雷射輔助熱壓印方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

094123994

專利證號

I 254367

專利獲證名稱

雷射輔助熱壓印方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立成功大學

獲證日期

2006/05/01

技術說明

雷射輔助式直接壓印製程已經顯示有能力大量轉印10nm尺寸大小的圖形，然而由於雷射 的因素需要透明的石英作為模仁的材料，但是石英模仁製作複雜的圖形十分困難且易損 壞，因此石英模仁在使用上成為主要的限制因素，雖然它在圖形轉印上的解析度比傳統 的微影製程來得好。

備註

本部(收文號1030091075)同意該校103年12月25日成大研總字第1034500872號函申請終止維護專利(成大)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

企業關係與技轉中心

連絡電話

06-2360524

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