利用光催化技術之磷化氫氣體定量分析方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

100149378

專利證號

I 456194

專利獲證名稱

利用光催化技術之磷化氫氣體定量分析方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺灣科技大學

獲證日期

2014/10/11

技術說明

本發明藉由光觸媒氧化反應程序發展分析氣相中低濃度磷化氫濃度之技術，利用不同光催化反應結果，可以在紫外光的激發下，將氣體狀態的磷化氫氧化為磷酸鹽與氧化磷物種，後續可以以傅立葉紅外線光譜儀(FTIR)、離子層析儀(IC)與感應耦合電漿發射光譜(ICP-AES)分別分析氣相中磷化氫濃度變化以及於光觸媒表面生成之磷酸鹽與磷原子總含量，藉以建立濃度校正曲線。可以藉由光觸媒材料表面之磷物質含量可以準確推估氣相中磷化氫濃度，此部份預計可發展出低濃度磷化氫氣體之分析程序。 In this work, the decomposition of gas-phase phosphine under UV/TiO2 process was investigated in phosphine quantitative analysis.The phosphine quantitative analysis, gas-phase product were determined by Fourier transform infrared (FTIR) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), liquid-phase product were determined by Ionic chromatography ( IC) and Inductively coupled plasma-atomic emission spectrometer (ICP-AES). These results indicate that phosphate (PO43-) and phosphorus pentoxide (P2O5) were both in liquid-phase and gas-phase respectively. There has a calibration curve between IC, ICP-AES with FTIR. This result is expected to develop a low concentration of phosphine gas analysis procedures.

備註

本部(收文號1090055194)同意該校109年9月1日臺科大研字第1090106466號函申請終止維護專利(國立臺灣科技大學)

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