整合型微感測器之製作方法及運用該方法所製成之微感測器

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

094110607

專利證號

I 283297

專利獲證名稱

整合型微感測器之製作方法及運用該方法所製成之微感測器

專利所屬機關 (申請機關)

國立中興大學

獲證日期

2007/07/01

技術說明

以CMOS方式製作微感測器，並整合電路、濕度及溫度同時做量測，利用Polyimide 當作感溼層，藉由水氣的吸附，使介 電常數產生變化，作為濕度感測器之感測機制。溫度感測部分是利用半導體材料（n-well），其易受溫度而改變電阻之 特性，作為溫度感測之機制。 By using CMOS method to make the micro sensor and at the same time use the combination of circuit, humidity and temperature to do an examination. It uses Polyimide to be the moisture absorption layer and due to the moisture absorbed, it will make the dielectric constant cause the variation. This variation can be used as the sensing technique of the humidity sensor. Part of the humidity sensing is used n-well materials because their resistive features are easily altered by the temperature and therefore, they can be the sensing technique of the humidity sensor.

備註

本部(收文號1050025911)同意該校105年4月12日興產字1054300245號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

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連絡電話

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